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本文提出了一种利用半导体激光自混合干涉效应的差动式位移传感器测量系统，建立了系统的数学模型，给出了用小范围内位移测量精确的表达式，与其他几种自混合型半导体位移测量方法相比，本文的结果不仅精确度高，且分辨率也在提高。
差动式半导体激光位移传感器模型
【摘 要】
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本文提出了一种利用半导体激光自混合干涉效应的差动式位移传感器测量系统，建立了系统的数学模型，给出了用小范围内位移测量精确的表达式，与其他几种自混合型半导体位移测量方法
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密仪器系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科研基金
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