陶瓷材料在微机电系统中的应用

来源 :中国陶瓷工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaolch011

【摘要】

：

在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料.本文分析了当前国内外在MEMS研究中的陶瓷材料的应用现状.着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及

【作者】

：

刘文广张玲刘莹

【机构】

：

景德镇陶瓷学院机电工程学院,南昌大学机电工程学院

【出处】

：

中国陶瓷工业

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

陶瓷材料氮化硅碳化硅 PZT压电陶瓷性能结构材料国内外常见分析应用现状 microeletrocmechanical system MEMS

【基金项目】

：

国家自然科学基金，江西省自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料.本文分析了当前国内外在MEMS研究中的陶瓷材料的应用现状.着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用.

其他文献

中国首个脑死亡判定标准获批准

期刊

中国脑死亡死亡判定死亡标准

印度陶瓷机械联合会发布2004年市场调查报告

印度陶瓷机械联合会（the Association of Italian Manufacturers of Machinery and Equipment of Ceramics）不久前公布了2004年该国陶瓷产业市场调查报告。

期刊

市场调查报告陶瓷机械印度陶瓷产业and

发展海南省公共图书馆事业的思考

海南省公共图书馆的现状和当今信息化时代不相吻合,其主要问题一是没有省级图书馆,没有形成省、市、县三级图书馆网;二是各图书馆规模小、服务范围窄;三是经费拮据,软硬条件

期刊

公共图书馆事业省级图书馆图书馆规模海南信息化时代普及经费海南经济发展筹资

模糊最优化方法在陶瓷配方设计中的应用

本文首次将模糊最优化方法应用于陶瓷配方设计.讨论了多种因素影响的模糊条件下如何获得成本最低的陶瓷配方设计方案,并介绍了用Matlab数学软件求模糊最优化问题的最优解.通

期刊

模糊最优化方法陶瓷配方设计应用数学模型约束条件Matlab数学软件fuzzy optimizationceramic formulamath

特种陶瓷零件结构设计研究

设计特种陶瓷零件结构时,必须考虑成型、干燥、烧成及后加工等工艺过程的要求.本文论述了满足上述要求的陶瓷零件结构设计的基本原则,并通过示例进行了详细说明.

期刊

特种陶瓷零件结构设计成型干燥烧成后加工specialty ceramicspartsstructure designing

人到中年怎样预防骨关节病

人体关节所以能自如活动，除了有正常的骨骼外，还需要有健全的软组织参与。它包括软骨、韧带、肌腱、滑膜、筋膜等。

期刊

骨关节病中年预防筋膜滑膜正常肌腱参与活动健全

法律论证的可接受性

法律论证作为司法过程中的一个重要研究对象,是法治社会实现司法正义的最佳方式,具体表现为判决结论具有可接受性,这种可接受性的实现需要法律论证的合理性、合法性和正当性,

期刊

法律论证可接受性批判性检验

为什么说开创建设中国特色社会主义事业新局面，必须高举邓小平理论伟大旗帜，全面贯彻“三个代表”重要思想？

江泽民同志在党的十六大报告中指出：开创建设中国特色社会主义事业新局面，必须高举邓小平理论伟大旗帜，全面贯彻“三个代表”重要思想。这一论述，深刻地指明了开创建设中国特色社

期刊

中国特色社会主义事业新局面“三个代表”重要思想开创邓小平理论旗帜江泽民同志大报建设创建

浅谈企业安全生产与劳动竞赛

职工由"要我安全"到"我要安全"的转变。安全生产做到多层次、全方位的防范,使安全生产工作实现可控的目标。综合考核检查是劳动竞赛分解到具体工作的表现,安全生产工作作为一

期刊

可持续发展有效载体软实力学习型团队

如何自查心功能

心功能1级指心脏功能几乎和正常人没有区别。心功能2级患者在从事较重活动（如快步走、上楼或提重物）时，会出现气急、浮肿或心绞痛，但休息后即可缓解。这属于轻度的心力衰竭，需积极

期刊

心功能自查心脏功能心力衰竭积极治疗正常人快步走心绞痛

陶瓷材料在微机电系统中的应用

与本文相关的学术论文