软X线—真空紫外Al2O3光电二极管的研究

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Al_2O_3光电二极管由于光谱响应波段较宽,性能稳定,经稀有气体电离室定标后,常用作软X线-真空紫外波段的光谱辐射传递标堆探测器。描述我们研制的Al_2O_3光电二极管的结构原理及Al_2O_3光阴极制备工艺,讨论性能测试方法与装置,给出测试结果。
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