【摘 要】
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本文介绍了场离子显微镜的基本原理及成像条件,着重讲述了研制过程,内容包括:构成场离子显微镜主体的真空系统,高压系统,本体,氦气导入以及摄像装置等五个部分的结构与制造。
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本文介绍了场离子显微镜的基本原理及成像条件,着重讲述了研制过程,内容包括:构成场离子显微镜主体的真空系统,高压系统,本体,氦气导入以及摄像装置等五个部分的结构与制造。同时还介绍了试样针尖的制造方法和如何改进的一些想法。
This paper introduces the basic principle of field ion microscope and imaging conditions, focusing on the development process, including: constitute the main field of field ion microscopy vacuum system, high-pressure system, the body, helium import and imaging device five parts of the structure and manufacturing . At the same time also introduced the manufacturing method of the sample tip and how to improve some of the ideas.
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