低温异质生长SiC薄膜预处理工艺研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yichunjekiyi

【摘要】

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讨论了在热丝化学汽相沉积(HFCVD)法沿Si(111)晶面异质生长SiC薄膜的过程中,预处理工艺对SiC成膜的影响.采用硅烷、甲烷作为反应气源,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微分析(

【作者】

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赵武张志勇王雪文邓周虎戴琨

【机构】

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西北大学电子科学系

【出处】

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电子元件与材料

【发表日期】

：

2003年12期

【关键词】

：

碳化硅薄膜 SIC薄膜预处理工艺热丝化学汽相沉积法低温异质生长 silicon carbide thin films pretreatment

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讨论了在热丝化学汽相沉积(HFCVD)法沿Si(111)晶面异质生长SiC薄膜的过程中,预处理工艺对SiC成膜的影响.采用硅烷、甲烷作为反应气源,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微分析(SEM)等分析手段,进行预处理工艺的研究.获得了在低温下700~800℃制备高质量SiC薄膜的预处理工艺参数:热丝碳化温度2 000℃;HF酸蚀30 s;H2刻蚀10 min.

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