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针对预脱硅过程的RP值在线实时检测,影响生产质量和生产控制实时性问题,提出了RP值软测量的方法,开发了一套基于神经网络软测量的软件系统,利用此系统对预脱硅过程RP值进行预测。现场运行表明,系统误差在4%以内,对生产质量和控制实时性问题可以起到指导作用,证明了该软测量方法的有效性。
氧化铝预脱硅过程RP值的软测量系统
【摘 要】
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针对预脱硅过程的RP值在线实时检测,影响生产质量和生产控制实时性问题,提出了RP值软测量的方法,开发了一套基于神经网络软测量的软件系统,利用此系统对预脱硅过程RP值进行预测。现场运行表明,系统误差在4%以内,对生产质量和控制实时性问题可以起到指导作用,证明了该软测量方法的有效性。
【机 构】
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东北大学设计研究院（有限公司）
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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2013年01期
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