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利用溶胶-凝胶法在玻璃基板上制备了Al／Zn原子掺杂比例为0～0．25的掺铝氧化锌（ZnO：Al或AZO）薄膜，随后分别将其在空气，氧气和氮气3种不同气氛中退火处理，研究了薄膜的光学、电学与结构方面的性质。X射线衍射分析表明AZO薄膜是具有C轴择优取向的六方纤锌矿结构多晶体；通过紫外-可见光分光计测定表明该薄膜在可见光范围内具有〉80％的高透过率，随着铝掺杂比例的增大光学能隙增大且吸收边向短波方向移动。