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采用1000W半导体激光器实现了激光辅助引燃TIG电弧，并运用发射光谱分析方法观测了电弧引燃过程中不同时刻的光谱信息，同时运用Stark展宽法得到了电子密度在各瞬态的特征值，为研究激光辅助引弧的物理过程提供了科学的依据．结果表明，在电弧引燃过程中，不同元素贡献电子的程度明显不同，在起弧初期，是由金属元素发生电离贡献电子，随着时问的递增，气体成分贡献电子能力逐渐增强，并由于电极间电场的存在，高温气体很快形成了串级电离而使电弧建立．