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在聚变堆防氚渗透第一壁制备过程中,Al2O3涂层与316L不锈钢基体间由于材料热膨胀系数的差异容易产生裂纹。本文利用有限元方法研究了Al2O3/316L涂层制备过程中的残余应力的分布。结果表明在界面等区域存在严重的应力集中;涂层厚度、孔隙率大小以及涂层是否致密对残余应力水平有很大影响。涂层内部关键区域的残余应力水平,随着涂层厚度增加而增加;孔隙率不同对界面的残余应力分布趋势没有明显影响,但对应力值却有很大影响,孔隙率增大涂层残余应力最大值下降;相同厚度情况下致密Al2O3涂层所受压应力远大于多孔Al2O3