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结合目前半导体特性测试仪校准时依据的技术文件,总结分析实际校准过程中的经验和问题,对4200型半导体特性测试仪的校准方法进行了研究,并对其直流电流测量结果的不确定度进行了评定。
4200型半导体特性测试仪校准方法研究
【摘 要】
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结合目前半导体特性测试仪校准时依据的技术文件,总结分析实际校准过程中的经验和问题,对4200型半导体特性测试仪的校准方法进行了研究,并对其直流电流测量结果的不确定度进
【机 构】
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贵州航天计量测试技术研究所
【出 处】
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现代工业经济和信息化
【发表日期】
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2021年4期
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