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研究了利用高剂量的Ｎ＾＋注入碳膜形成氮化碳ＣＮｘ的可能性，对这种新材料进行了城叶变换红外吸收光谱、Ｘ射线光电子能说、Ｘ射线衍射和薄膜的维氏显微硬度等测量。结果表明，在１００ｋｅＶ高剂量Ｎ＾＋注入碳膜过程中形成了含有碳氮共价键成分的ＣＮｘ化合物。
高剂量N^＋注入碳膜形成氮化碳CNx的研究
【摘 要】
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研究了利用高剂量的Ｎ＾＋注入碳膜形成氮化碳ＣＮｘ的可能性，对这种新材料进行了城叶变换红外吸收光谱、Ｘ射线光电子能说、Ｘ射线衍射和薄膜的维氏显微硬度等测量。结果表明，在１００ｋｅＶ高剂量Ｎ＾＋注入碳膜
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家实验室,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室,中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1996年2期
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