真空冶金法提纯锑掺杂单晶硅埚底料的实验研究(英文)

来源 :中山大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanchishe0000
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采用真空定向凝固技术,在不同真空定向凝固条件下,对拉制锑掺杂的单晶后的埚底料进行提纯并得到铸锭。对不同生长条件下铸锭的生长形貌进行分析。同时,通过ICP-AES测定了铸锭纵向的杂质元素的分布。结果表明,杂质Sb从底端到中上端由于定向凝固的作用呈现浓度升高,从中上端到顶端由于真空蒸馏的作用呈现浓度降低。
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