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氟气或氮气和氟气的混合气体、四氟乙烯从不同的进料口进入温度为10-60℃、压力为0.1~0.15MPa的反应器中,控制气体在反应器中的空速为0.2—10min^-1,进行反应,得到的部分反应产物在反应器出口端通过反应器外接循环设备离心风机循环返回反应器进口端,与通过进料口进来的氟气或氮气和氟气的混合气体以及四氟乙烯混合后进入反应器,循环反应。