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本文提出了一种用二维零位光机来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果，对二维零位光 应用进行了展望 。
二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用
【摘 要】
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本文提出了一种用二维零位光机来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅原理，评价指标，评价指标极
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械系,中国科学技术大学数学系
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1999年1期
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