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全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术--干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方法进行了深入研究,提出了在"Zernike像差空间"确定激光数字平面检测系统精度的理论和方法.
光学干涉波面数字化处理方法与应用
【摘 要】
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全面论述了激光数字平面检测系统中的核心技术--干涉波面数字化分析理论和处理方法,对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法以及系统像差和被测表面平面误差类型判定方
【机 构】
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空军工程大学工程学院
【出 处】
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计算物理
【发表日期】
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2003年6期
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