论文部分内容阅读
以N2,O2作载气,通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt—Pd合金薄膜。在Pd—Pt合金的沉积过程中,Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O2为载气、300℃条件下,用Pd(η^3-allyl)(hfac)和Pt(COD)Me2作前驱体共沉积制备Pd—Pt合金,得到含Pd37.2%,Pt62.8%且不含碳和氟的合金。