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主要介绍了V500型CO2激光机的结构、原理以及加工电子陶瓷基片的相关技术,利用激光加工α-96%Al2O3陶瓷基板,是满足厚膜混合集成电路等产品生产和科研需要的主要方法之一。
V500型CO2激光机及其Al2O3电子陶瓷基板加工技术
【摘 要】
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主要介绍了V500型CO2激光机的结构、原理以及加工电子陶瓷基片的相关技术,利用激光加工α-96%Al2O3陶瓷基板,是满足厚膜混合集成电路等产品生产和科研需要的主要方法之一。
【机 构】
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西京电气总公司
【出 处】
：
陶瓷
【发表日期】
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2014年11期
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