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透射电子显微镜是纳米材料微观形貌表征的一种重要仪器，可实现对微观结构纳米尺度的准确计量和表征，但是在其使用过程中，受样品质量、加速电压、电流稳定性的影响，其标称的放大倍率会产生一定的偏差。基于此，使用可溯源的标准物质对透射电子显微镜的放大倍率进行校准。校准后的TEM可溯源至晶格固定的晶面间距，具有较好的准确性，也能为以后纳米尺度的表征提供可信的依据。