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采用Ansys有限元分析软件运用非线性分析的方法对Ag—Cu—n钎焊金刚石膜后的残余应力进行了数值模拟。在模拟中考虑了温度对材料性能的影响，计算了钎料对金刚石的热应力，并给出了钎料不同厚度情况下的残余应力。而后采用激光拉曼光谱对应力进行测量表明，有限元模拟结果与试验测试数据相吻合，相对误差不超过10％。