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主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对 MEMS的应用及发展前景作了简要概述.
微机电系统的研究与应用
【摘 要】
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主要介绍了微机电系统的发展、设计与传统的加工工艺,并对 MEMS的应用及发展前景作了简要概述.
【机 构】
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安徽大学电子科学与技术学院
【出 处】
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安徽电子信息职业技术学院学报
【发表日期】
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2005年3期
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