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据美国物理学家组织网报道,美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室和加州大学伯克利分校的科学家成功地将厚度仅为10nm的超薄半导体砷化铟层集成在一个硅衬底上,制造出一块纳米晶体管,其电学性能优异,在电流密度和跨导方面也表现突出,可与同样尺寸的硅晶体管相媲美。
砷化铟或可替代硅制造电子设备
【摘 要】
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据美国物理学家组织网报道,美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室和加州大学伯克利分校的科学家成功地将厚度仅为10nm的超薄半导体砷化铟层集成在一个硅衬底上,制造出一块纳米晶
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2010年12期
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