【摘 要】
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设计了一种新型微气敏传感器的结构,采用SnO_2作为敏感材料,并利用ANSYS软件仿真分析,优化了该传感器的某些结构参数。结果得出:传感器基底结构中从上往下SiO_2-Si-SiO_2三层
【机 构】
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超硬材料国家重点实验室吉林大学物理学院,
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设计了一种新型微气敏传感器的结构,采用SnO_2作为敏感材料,并利用ANSYS软件仿真分析,优化了该传感器的某些结构参数。结果得出:传感器基底结构中从上往下SiO_2-Si-SiO_2三层材料的厚度依次为10,120,170μm,加热电极和测量电极宽度为10,30μm时,微传感器SnO_2材料区域的温度为高温态且分布均匀,并且此结构的传感器中心材料区域的磁场强度为最小值9.84×10~(-10)A/M,与最大值383.066 A/M相比可忽略不计。
A new type of micro-gas sensor was designed. SnO 2 was used as a sensitive material. Some structural parameters of the sensor were optimized by ANSYS software simulation. The results show that the thickness of the three layers of SiO2-Si-SiO2 from top to bottom in the sensor substrate structure is 10,120,170μm in sequence, and the width of the heating electrode and the width of the measurement electrode is 10,30μm, the temperature of the region of the micro-sensor SnO2 material is high and And the magnetic field intensity in the sensor center material area of this structure is 9.84 × 10 -10 A / M, which is negligible compared with the maximum value of 383.066 A / M.
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