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中阶梯光栅在制备过程中所采用的刻划毛坯为真空热蒸镀工艺制备的厚铝膜.厚铝膜的硬度是评价其自身力学性能的重要数据,因此,本文采用纳米压痕硬度仪对厚铝膜进行了硬度测试,根据得出的测试数据,计算得出分层厚铝膜的硬度值,分析了硬度值变化的特点.
厚铝膜硬度测试与分析
【摘 要】
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中阶梯光栅在制备过程中所采用的刻划毛坯为真空热蒸镀工艺制备的厚铝膜.厚铝膜的硬度是评价其自身力学性能的重要数据,因此,本文采用纳米压痕硬度仪对厚铝膜进行了硬度测试,
【机 构】
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长春理工大学机电工程学院 吉林 130022
【出 处】
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中外交流
【发表日期】
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2019年36期
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