论文部分内容阅读
基于铝诱导非晶硅薄膜固相晶化方法,利用直流磁控溅射离子镀技术制备了Al/S i/…Al/S i/glass周期性结构的薄膜。采用真空退火炉对Al/S i多层薄膜进行了500℃退火实验,通过透射电子显微镜（TEM）分析了退火前、后Al/S i多层薄膜截面形貌的变化规律,并结合扩散过程探讨了铝层厚度对铝诱导非晶硅薄膜晶化过程的本质影响机理。研究结果表明：在铝诱导非晶硅薄膜固相晶化过程中,随退火过程的进行,Al、S i原子会沿Al/S i层间界面进行互扩散运动且在S i层中达到临界浓度Cs的Al原子所在区域整体