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期刊论文
PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用
PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mmcccc
【摘 要】
:
简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理.实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时,沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律.给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形
【作 者】
:
王雄
吴学忠
【机 构】
:
国防科技大学机电工程与自动化学院
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2006年05A期
【关键词】
:
微机电系统
PVD溅射
薄膜沉积速率
原子力显微镜
MEMS
PVD sputtering
film deposition rate
AFM
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简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理.实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时,沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律.给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形貌(AFM)图和显微镜照片.
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