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利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响.给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路,并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释.
磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究
【摘 要】
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利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用,还作为阴极真空弧放电的第二阳极
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学分析测试中心
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2001年10期
【基金项目】
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国家“8 6 3”计划 (86 3 - 715 - 0 0 8- 0 0 40 )
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