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利用超声雾化热分解技术，在玻璃衬底上生长出宽带隙的Zn1-xMgxO薄膜。所有样品在可见光范围内的透过率可达到85％以上。X射线衍射的测试结果表明所有样品都具有c轴择优生长特性，并且随薄膜中Mg含量的不同出现规律性变化。光致发光谱表明Mg掺入后ZnO薄膜的紫外发射峰出现了蓝移，实现了对禁带宽度的调节。