Ti,Y离子注入65Nb钢的表面优化

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利用MEVVA强流金属防子注入机,对65Nb钢进行离子注入,采用了Auger电子能谱(AES),X射线衍射(XRD)等表面分析技术,研究了Ti及Ti+Y离子注入后的65Nb钢表面的微结构变化。力学性能实验结果表明,Ti及Ti+Y离子注入能使材料表面硬度和耐磨性显著提高,且双元离子注入比单元注入效果好,着重分析和讨论了稀土元素Y在离子注入层中的合金化作用。
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