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对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性
对向靶反应溅射制备AlN薄膜的结构及物性
来源 :广西大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haoxuexi0825
【摘 要】
:
用对向靶反应溅射制备的AlN薄膜,高气压为取向,低气压下为取向,精确测量XRD衍射峰位可看出AlN薄膜有较大应力。对硬度的测量发现AlN薄膜硬度较大,取向对硬度没有影响。
【作 者】
:
吴世伟
曾令民
【机 构】
:
广西大学材料科学研究所
【出 处】
:
广西大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
对向靶溅射
薄膜
制备
X光衍射
氨化铝
物性
facing targets sputtering
aluminium nitride
X - ray di
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用对向靶反应溅射制备的AlN薄膜,高气压为取向,低气压下为取向,精确测量XRD衍射峰位可看出AlN薄膜有较大应力。对硬度的测量发现AlN薄膜硬度较大,取向对硬度没有影响。
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