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对于W通孔多层金属化系统来说，金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大。设计了12种不同的蓄水池结构，并进行电迁移实验；考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响，得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素。
多层金属化系统中的蓄水池效应
【摘 要】
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对于W通孔多层金属化系统来说，金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大。设计了12种不同的蓄水池结构，并进行电迁移实验；考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连
【机 构】
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北京工业大学电子信息与控制工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年4期
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