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磁镜场对PCVD制备SnO2导电薄膜的影响
磁镜场对PCVD制备SnO2导电薄膜的影响
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:irolu
【摘 要】
:
本文利用自制的磁常研究了不同磁镜场对等离子体化学气相沉积技术制备的SnO2导电薄膜电学性能的影响。
【作 者】
:
刘艳红
刘祖黎
【机 构】
:
华中理工大学物理系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
导电薄膜
增镜场
PCVCD
二氧化锡
SnO2 electrical film magnetic mirror field PCVD
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本文利用自制的磁常研究了不同磁镜场对等离子体化学气相沉积技术制备的SnO2导电薄膜电学性能的影响。
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