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提出了一种基于波形分析原理实现窄脉冲半导体激光器峰值功率测量的方法，并研究了测试系统的校准技术。此测试系统主要由数字存储示波器和光电转换装置组成，可直接测量峰值功率。为了保证测量准确度，根据测量电压与激光脉冲功率的比例关系，溯源至标准激光功率或能量来校准此系统。实验以波长900hm，脉宽为200μs和200ns的宽、窄两种脉冲半导体激光器为例，采用不同的校准方法分别对测试系统的比例系数k进行标定，并分析了测量不确定度。