【摘 要】
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研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数（TCR）以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌，用Alpha—Step IQ台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方
【机 构】
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中南大学物理科学与技术学院,湖南科技大学物理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(60371046)
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研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数（TCR）以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌，用Alpha—Step IQ台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方块电阻。结果表明：薄膜沉积速率随氮气分压增大而减小；热处理使薄膜颗粒尺寸均匀，电阻率减小，电阻迟滞减小且TCR由负值变为正值。
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