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论述了半导体湿法清洗设备的特点及模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中的应用方式,阐明了模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中应用的特点及注意事项。
模块化设计在半导体湿法清洗设备中的应用
【摘 要】
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论述了半导体湿法清洗设备的特点及模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中的应用方式,阐明了模块化设计方法在半导体湿法清洗设备中应用的特点及注意事项。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年07期
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