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硫钝化是一种有效的钝化ＧａＡｓ表面的方法，本文使用Ｎａ２Ｓ，Ｓ２Ｃｌ２和ＣＨ３ＣＳＮＨ２三种化学试剂对表面－本征层－重掺杂层结构的ＧａＡｓ样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个Ｆｒａｎｚ－Ｋｅｌｄｙｓｈ振荡，测量出本征层的电场强度，研究了ＧａＡｓ表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果。