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期刊论文
选择氧化工艺在垂直腔面发射激光器中的应用
选择氧化工艺在垂直腔面发射激光器中的应用
来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zy1848
【摘 要】
:
讨论和研究了氧化时间、氧化温度、氧化载气的气流量三方面对Al0.98Ga0.02As层氧化深度、氧化速率的影响.综合考虑各因素,得到最佳氧化条件:氧化温度为420℃,氧化载气的气体
【作 者】
:
谢浩锐
钟景昌
赵英杰
郝永芹
姜晓光
冯源
张和保
魏东
【机 构】
:
长春理工大学
【出 处】
:
长春理工大学学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
垂直腔面发射激光器
布拉格反射镜
选择氧化
氧化物限制
氧化速率
vertical vavity surface emitting lasers
distri
【基金项目】
:
中国科学院资助项目,武器装备预研基金
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讨论和研究了氧化时间、氧化温度、氧化载气的气流量三方面对Al0.98Ga0.02As层氧化深度、氧化速率的影响.综合考虑各因素,得到最佳氧化条件:氧化温度为420℃,氧化载气的气体流量1.6L/min,此时的氧化速率为0.58μm/ min.
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