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液相沉积类金刚石膜的结构与性能研究
液相沉积类金刚石膜的结构与性能研究
来源 :化学工业与工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuehua812
【摘 要】
:
探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺,并采用XPS,Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征,证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结
【作 者】
:
王红卫
沈风雷
孙敏
闻荻江
【机 构】
:
苏州大学材料工程学院,苏州科技学院土木系
【出 处】
:
化学工业与工程技术
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
类金刚石膜
液相沉积
RAMAN光谱
XPS
摩擦磨损
Diamond-like carbon filmsLiquid-depositionRaman spec
【基金项目】
:
江苏省基础研究计划(自然科学基金)资助项目,编号:BK2001414
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探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺,并采用XPS,Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征,证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结合强度,并具有较低的摩擦系数和一定的耐磨损能力。
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