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15-75nm波段室温干燥空气的光谱分辨XUV透过率测量

来源 :光谱实验室 | 被引量 : 0次 | 上传用户：velvet_flower

【摘 要】

：

以McPHERSON 247型掠入射软射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,在室温下测量了不同压强下干燥空气的15-75nm波段光谱分辨极紫外辐射(XUV)透过率,单色仪理论

【作 者】

：

齐立红 张大威 李忠芳 陈淑妍 尼启良 巩岩 陈波 

【机 构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院

【出 处】

：

光谱实验室

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

室温空气 极紫外辐射(XUV)透过率 光谱测量 

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以McPHERSON 247型掠入射软射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,在室温下测量了不同压强下干燥空气的15-75nm波段光谱分辨极紫外辐射(XUV)透过率,单色仪理论光谱分辨率△λ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm,有效吸收长度100mm.测量结果与Henke等人的数据进行了对比.

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