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作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法,在n型6H-SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触.作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性.
通过改变费米能级钉扎效应制备6H—SiC欧姆接触的特性研究
【摘 要】
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作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法,在n型6H-SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触.作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究;并对形成欧姆接触的物理机理进行
【机 构】
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四川大学物理系
【出 处】
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四川大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2002年3期
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