纳米计量技术

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本文简述了纳米科学与技术的历史和最新进展,着重介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术,外差干涉显微技术、X射线干涉显微技术、基于F-P标准具的测微技术等以及纳米定位控制技术及其应用。
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