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本文简述了纳米科学与技术的历史和最新进展，着重介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术，外差干涉显微技术、Ｘ射线干涉显微技术、基于Ｆ－Ｐ标准具的测微技术等以及纳米定位控制技术及其应用。
纳米计量技术
【摘 要】
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本文简述了纳米科学与技术的历史和最新进展，着重介绍了纳米测量技术如扫描隧道显微技术，外差干涉显微技术、Ｘ射线干涉显微技术、基于Ｆ－Ｐ标准具的测微技术等以及纳米定位控制技术及
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1995年11期
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