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根据气敏光学特性的要求，用可控气压喷涂和高温处理的新方法，制成ＳｎＯ２膜。膜面平整均匀，晶粒结构细密，缺陷较少，其光学特性比其它方法制成的薄膜好，使用的设备及工艺简单。
制备气敏膜的新方法及膜的光学特性
【摘 要】
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根据气敏光学特性的要求，用可控气压喷涂和高温处理的新方法，制成ＳｎＯ２膜。膜面平整均匀，晶粒结构细密，缺陷较少，其光学特性比其它方法制成的薄膜好，使用的设备及工艺简单。
【机 构】
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华南理工大学应用物理系
【出 处】
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华南理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1997年7期
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