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利用超微磨粒的电泳特性，在加工过程中使超微磨粒的向工具泳动并沉积在工具表面，形成一动态的超微磨粒层，对脆性材料表面进行精密加工，本文介绍超微磨粒层的形成机理的特性，并通过对硅片进行电泳磨削的实验数据，着重讨论该技术的工艺特性及其对脆性材料加工质量的影响。研究结果表明，该技术能量明显地降低被加工表面的粗糙度。