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六氟化钨是自然界中最活泼元素氟的一种无机化合物,在室温下是无色气体或浅黄色液体,固体为易潮解的白色结晶。可用于电子工业,也可通过CVD技术用于使钨在钢表面上形成坚硬的碳化钨,并广泛用于氟化剂、聚合催化剂。
六氟化钨高纯电子气体专利分析
【摘 要】
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六氟化钨是自然界中最活泼元素氟的一种无机化合物,在室温下是无色气体或浅黄色液体,固体为易潮解的白色结晶。可用于电子工业,也可通过CVD技术用于使钨在钢表面上形成坚硬的
【机 构】
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国家知识产权局专利局材料部
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2016年15期
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