【摘 要】
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硅通孔(TSV)在制造过程中容易产生各类故障缺陷,导致3D芯片合格率降低.为了解决这一问题,提出一种新的对角线六边形冗余结构,对均匀故障的修复率保持在99％以上,对聚簇故障的修
【机 构】
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院,合肥,230009;合肥工业大学数学学院,合肥,230009;安徽工程大学电气工程学院,安徽芜湖241000;高端装备先进感知与智能控制教育部重点实验室,安徽芜湖2
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硅通孔(TSV)在制造过程中容易产生各类故障缺陷,导致3D芯片合格率降低.为了解决这一问题,提出一种新的对角线六边形冗余结构,对均匀故障的修复率保持在99％以上,对聚簇故障的修复率与路由冗余结构相近,并高于环形冗余结构.实验结果表明,与环形和路由冗余结构相比,该结构的面积开销分别减小了1.64％和72.99％,修复路径长度分别降低了39.4％和30.81％;与路由结构相比,该结构的时间开销缩短了62.55％.
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