Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography

来源 :核技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haohailinbo

【摘要】

：

The soft X-ray interference lithography(XIL) branch beamline at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF) is briefly introduced in this article. It is desig

【作者】

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杨树敏王连升赵俊薛超凡刘海岗许子建吴衍青邰仁忠

【机构】

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ShanghaiInstituteofAppliedPhysics

【出处】

：

核技术：英文版

【发表日期】

：

2015年1期

【关键词】

：

上海同步辐射装置干涉光刻软X射线表面增强拉曼散射光源纳米结构光束线 SSRF Extreme ultraviolet Soft x-ray int

【基金项目】

：

Supported by the National Key Basic Research Program of China（No. 2012CB825700） and the Open Research Project of Large ScientificFacility from Chinese Academy of Sciences： Study on Self-AssemblyTechno

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The soft X-ray interference lithography(XIL) branch beamline at Shanghai Synchrotron Radiation Facility(SSRF) is briefly introduced in this article. It is designed for obtaining 1D(line/space) and 2D(dot/hole)periodic nanostructures by using two or more c

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