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SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。
SEMI发布五项新技术标准——包含光伏硅材料检测方法
【摘 要】
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SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年2期
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