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期刊论文
VLSI制作过程中Al配线可靠性控制
VLSI制作过程中Al配线可靠性控制
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snake916
【摘 要】
:
本文主要讨论Al配线可靠性的控制方法及溅射过程中真空度对Al膜淀积质量的影响,运用Q-Mass监控溅射过程系统基本真空控制Al膜质量。
【作 者】
:
郭佳惠
祝六花
【机 构】
:
华越微电子有限公司
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
Al配线
可靠性
VLSI
制作过程
集成电路
Al Routing
Reliability
Sputtering
QMass
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本文主要讨论Al配线可靠性的控制方法及溅射过程中真空度对Al膜淀积质量的影响,运用Q-Mass监控溅射过程系统基本真空控制Al膜质量。
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