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文章主要介绍了近十年来软Ｘ射线多层反射发展现状以扩制备过程中的技术难点，介绍了软Ｘ射线多层膜在软Ｘ射线光学中的的些应用。
软X射线多层膜的应用及发展
【摘 要】
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文章主要介绍了近十年来软Ｘ射线多层反射发展现状以扩制备过程中的技术难点，介绍了软Ｘ射线多层膜在软Ｘ射线光学中的的些应用。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金,国家863高技术计划
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