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建立了一个磁控溅射模型，在几种特殊情况下，给出了计算机模拟的薄膜厚度三维分布和二维分布，提出了制备大面积薄膜的条件．结果表明：计算机模拟的结果与实验结果和有关文献的结果一致．
磁控溅射薄膜的厚度均匀性理论研究
【摘 要】
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建立了一个磁控溅射模型，在几种特殊情况下，给出了计算机模拟的薄膜厚度三维分布和二维分布，提出了制备大面积薄膜的条件．结果表明：计算机模拟的结果与实验结果和有关文献的结果一
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1996年01期
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