氢氟酸和PSG牺牲层腐蚀的TDC模型(英文)

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangqi789
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对不同结构,即直沟道结构、冒泡结构和组合沟道结构的氢氟酸牺牲层腐蚀进行了研究.以往的牺牲层腐蚀模型和实验结果不能很好地吻合.以往的模型和实验结果的误差随着腐蚀时间的增加而增大.本文提出了一个修正模型,在修正模型中:HF的扩散系数是浓度和温度的函数;腐蚀速率常数是温度的函数;此外还考虑了腐蚀产物对腐蚀过程的影响.对于组合沟道结构,对腐蚀前端形状的描述采用了一个新的数学模型.实验结果和以往的模型以及修正模型进行了对比,结果表明修正模型能够和实验结果吻合得很好. The corrosion of hydrofluoric acid sacrificial layer with different structures, ie, straight channel structure, bubbling structure and combined channel structure has been studied. The conventional sacrificial layer corrosion model and the experimental results can not well fit the previous model and experimental results The error increases with the increase of corrosion time.In this paper, a modified model is proposed, in which the diffusion coefficient of HF is a function of concentration and temperature, the corrosion rate constant is a function of temperature, and the corrosion products Corrosion process.For the combined channel structure, a new mathematic model is used to describe the shape of the corrosion front.The experimental results are compared with the previous model and the modified model, the results show that the modified model can be in good agreement with the experimental results .
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